MECCANISMO・LAB、120℃・大気圧でのウエハ接合を実現 NIMS保有技術をベースに6インチ対応全自動接合装置を開発
MECCANISMO・LAB 成功開發基於 NIMS 技術的 6 吋全自動晶圓鍵合裝置，實現 120℃ 大氣壓下之低溫接合。 · 2026-05-12
MECCANISMO・LAB 成功開發基於 NIMS 技術的 6 吋全自動晶圓鍵合裝置，實現 120℃ 大氣壓下之低溫接合。 · 2026-05-12
MECCANISMO・LABがNIMSの低温・大気圧接合技術を基盤に、120℃・大気圧で動作する6インチウエハ対応全自動接合装置を開発し、実用化に向けた検証を開始しました。これにより、従来の課題であっ… · 2026-05-12