資騰科技是什麼樣的企業？

為佳世達集團旗下羅昇所屬的半導體解決方案企業，提供量測、清洗與物流技術。

Fractilia量測技術的特點為何？

強化跨機台量測可信度，並透過FAME EDGE即時監控異常，已獲全球逾30家企業採用。

以非接觸方式清除晶圓邊緣與背面微粒，化學機械研磨後清除效率達98%。

發布 2026年8月28日 17:23 ・ 最後更新 2026年8月28日 18:14 ・閱讀約 2 分鐘・來源：PR Times

資騰科技將於SEMICON Taiwan 2026展示Fractilia CD-SEM量測、ProSys兆聲波晶圓清洗及SEMI-TS廠內物流三大解決方案，搶進半導體先進製程與矽光子市場，提升良率與生產穩定性。

佳世達(2352-TW)宣布，集團成員羅昇(8374-TW)旗下資騰科技將於 SEMICON Taiwan 2026 展示 Fractilia CD-SEM量測、ProSys兆聲波晶圓清洗及 SEMI-TS廠內物流三大解決方案，搶進半導體先進製程與矽光子市場。

資騰科技總經理陳國榮表示，隨著半導體先進製程與矽光子製程快速發展，量測設備可信度、晶圓清潔品質及廠內物流效率已成為影響良率與生產穩定性的關鍵因素，資騰透過整合三大解決方案，協助客戶從單點設備優化延伸至跨製程管理，降低生產風險並提升整體效能。

其中，Fractilia CD-SEM量測強化跨機台量測可信度，FAME EDGE可持續監控設備狀態，協助辨識量測異常，相關量測能力亦可延伸至矽光子製程，目前Fractilia相關方案已獲全球超過30家半導體及矽光子企業採用。

BevelSonic則運用聚焦聲學能量，ProSys兆聲波晶圓清洗以非接觸方式清除晶圓邊緣與背面的微粒及污染物，降低交叉污染與邊緣損傷風險。單晶圓兆聲波清洗系統MegPie在化學機械研磨後清洗測試中，微粒清除效率達98%。

SEMI-TS廠內物流透過混合式自動物料搬運系統（Hybrid AMHS）結合天車系統（OHT）與無塵輸送帶系統（Clean Conveyor），已於中國及韓國建置，依已投產系統數據，排隊延遲可降低接近50%。氮氣充填模組（N2 Purge Unit）則採隨插即用設計，降低改機與設備停機風險。