住友重機械工業、米国サンノゼに「Semiconductor Subsystems and Components R&D Center」を開設

住友重機械工業、米国サンノゼに「Semiconductor Subsystems and Components R&D Center」を開設

住友重機械工業株式会社（本社：東京都品川区、代表取締役社長：渡部敏朗、以下「当社」）は、Sumitomo Cryogenics of America, Inc.（本社：米国ペンシルベニア州、CEO：マーク・デラクシャン）の米国カリフォルニア州サンノゼ事業所内に Semiconductor Subsystems and Components R&D Center（以下「当センター」）を2026年5月に開設しました。

当センター開設の目的

当社は、「半導体」および「ロボティクス・自動化」分野を重点投資領域として競争力の強化に取り組んでいます。

精密ステージ、モーションコンポーネント、ロボット技術に関して、米国の半導体装置メーカーや研究機関（以下「米国パートナー」）との共創・協働を推進するための拠点として当センターを開設しました。米国パートナーとの共創・協働を通じて、次世代半導体製造装置向け技術の高度化、アプリケーション領域の拡大、顧客課題の早期解決を図り、パートナーシップの強化と新たな事業機会の創出を目指します。

当センターの概要

当センターは、低振動のクリーンルームを備えた研究開発拠点です。精密ステージやロボティクスの性能評価に求められるクリーン度と低振動環境を整備し、ナノメートル級の位置決め評価や動特性解析など、次世代半導体製造装置に求められる高度な技術検証を当センターで実施することができます。これにより、米国パートナーと連携した製品開発や評価を実施することが可能です。

### 施設概要 - 施設名称: Semiconductor Subsystems and Components R&D Center - 所在地: 121 Daggett Drive San Jose CA, 95134, USA - 面積: 1650sqft (150m2) - クリーン度: Class 100 - VCランク: VC-E