ASML株価大暴落！中国がDUV技術で大躍進、モルガン・スタンレー分析「歩留まりが鍵」

消息人士によると、中国は自主開発した浸潤式深紫外線（DUV）露光装置の量産を開始した。この先端チップ製造のキーデバイスは、中国が外国技術への依存を減らすという目標に向けた重要な進展を示している。

ロイター通信が報じたところによると、事情に詳しい匿名の関係者らは、この生産計画が知られざる中国の国営企業である上海愛晟納電子科技グループによって主導されていると明かした。同社は、中国のトップレベルの露光技術ベンチャー企業の研究開発チームを統合した後、正式に量産を開始した。

NXE3400B内部のEUV光源、液滴発生器、収集鏡の拡大画像。底部の収集鏡が光線を焦点に合わせる様子をスローモーションで示している。（ASML公式サイトより）

この進展は、中国が全国的な半導体自給自足計画を推進する上で大きな突破口となった。半導体の自主化は、習近平国家主席の最重要政策目標の一つだが、短期的にはオランダの露光装置大手ASMLに対し、即座の商業的脅威とはならないとされる。

DUV露光装置は長年にわたりASMLが世界市場を支配しており、チップ製造に不可欠なコア設備である。

テックメディア『The Information』は昨日、中国がこの装置の製造を開始したことを最初に報じ、上海にある名前の明かされていない国営企業が生産を開始し、今年中に約5台、2027年までに約20台の生産を目指していると指摘した。ロイターは、この企業の正体を最初に明らかにした。

関係者によると、愛晟納が生産するDUV露光装置はさらなるテストを必要としており、ASMLの同種製品と比べて技術レベルには相当な差があるという。

しかし、これが順調に運用されれば、将来的に欧米諸国が露光装置の輸出や修理サービスをさらに制限した場合でも、中国のチップメーカーは代替の設備源を持つことができるようになるだろう。

『The Information』は、関係者2人の話として、この中国製DUV露光装置が今年中に中国の主要チップメーカーに納入される予定だと報じた。対象には、中芯国際（SMIC）、華虹半導体、メモリーチップメーカーの長鑫儲存（CXMT）が含まれる。

浸潤式DUV露光装置は、投影レンズとシリコンウエハーの間に水膜を設けることで、従来の乾式DUVシステムよりも高い露光解像度を実現し、より微細な回路パターンを描くことができる。

この種の装置は、さまざまなチップの製造に使用できるほか、多重露光（multiple patterning）技術を用いて、同じ回路層に複数回露光を行うことで、より先進的な半導体の製造も可能になる。

ASMLはコメント要請に直ちに応じなかった。中芯国際、華虹半導体、長鑫儲存もロイターの問い合わせに応じていない。

● 愛晟納の背後にある上海の資本と技術

企業登記資料によると、愛晟納は2023年8月に設立され、登記資本金は70億元人民幣（約10億ドル）で、株主は上海電気控股グループと上海国際信託傘下の子会社の2つの国営企業のみである。

愛晟納については外部からの情報がほとんどない。同社には公式ウェブサイトがなく、営業情報も公開されていない。関係者によると、同社は昨年からDUVプロトタイプのテストを開始していたベンチャー企業「宇量昇」と、上海微電子装備の技術チームを統合しているという。

上海微電子装備と、ファーウェイが支援する半導体設備メーカー新凱來（SiCarrier）傘下の宇量昇は、中国の半導体自主化計画の重要な参加者である。

企業登記情報と採用情報によると、愛晟納と宇量昇は上海で同じ住所を使用している。

愛晟納およびその株主、上海微電子装備、宇量昇はいずれも、ロイターのコメント要請に応じていない。

● ASMLへの追撃

アメリカの輸出規制により、中国はASMLの最先端の極紫外光（EUV）露光システムを取得できない。オランダ政府の輸出制限も、中国が一部の先進的なDUV装置を入手することをさらに制限している。

中国が半導体の自主化を積極的に推進しているにもかかわらず、中国は依然としてASMLにとって最も重要な市場の一つであり、今年上半期の純売上高の約16％を占めている。EUV装置を取得できないものの、中国のチップメーカーは、より成熟したDUV装置を引き続き大量に購入している。

ロイターは昨年12月、関係者の話として、中国がEUVシステムのプロトタイプの開発に成功したと報じた。この装置は世界最先端のチップ製造に不可欠だが、量産にはまだ数年かかるとされている。

市場が明確な反応を示したにもかかわらず、複数のアナリストは、このニュースが短期的にASMLの収益見通しを変える可能性は低いと見ている。

モルガン・スタンレーのアナリストは、本日の報告書で次のように指摘している。「少数の浸潤式DUV装置を製造することは、大量生産能力を持つこととは等しくない。本当に重要なのは、数千枚のウエハー製造プロセスを通じた歩留まり、アライメント精度、生産能力、信頼性である。」