牛尾電機啟動UX-4系列晶圓曝光設備LED光源版「UX-44101SCB / UX-45114SCB」接單

牛尾電機股份有限公司（Ushio Inc.）宣布，作為其UX-4系列晶圓曝光設備的新產品，搭載LED光源的「UX-44101SCB」與「UX-45114SCB」型號將於2026年7月起開放接單。

「UX-4系列」採用全投影式曝光技術，長年以來在提升功率半導體、MEMS、通訊與光電融合相關（光半導體）元件的生產效率方面，擁有豐富的導入實績。

近年來，半導體產業對於化學物質使用與排放的環境規範日益嚴格，對整體業界產生了影響。隨著曝光設備光源逐漸轉向LED化，在高曝光劑量需求的製程層中，因照度不足導致曝光時間延長，成為了業界亟待解決的課題。

針對此課題，牛尾電機憑藉其自創業以來累積的固態光源設計技術，成功開發出與傳統水銀燈管具有同等照度的LED光源單元，並研發出此項新產品。

藉此，因應IoT、5G與交通移動技術進化所帶來的次世代電子設備晶圓大型化與高精度化需求，即便是Bump（凸塊）與WLP（晶圓級封裝）等需要高曝光劑量的製程，也能實現與傳統水銀燈管同等的高產出（High Throughput）。此外，與傳統水銀燈管相比，LED光源可實現曝光時的瞬間點亮與熄滅，不僅延長了光源壽命，還能大幅降低設備導入後的運作成本。

主要特點 - 全投影式曝光：無光罩損傷，高生產率120 WPH以上 - 深度焦深：適用於3D表面形狀曝光、厚膜光阻曝光 - 自動化對應：對應In-line、On-line、OHT與AGV系統 - 無汞設計，支援LED光源