凱城股份有限公司（東京都羽村市）宣布推出全新開發的『QUAVA mini Mega Puck（Quova Mini Mega Puck）』，專為半導體製造過程中晶圓的精密清洗、光阻剝離以及蝕刻後殘留物清除而設計。本產品為一款新型超音波清洗系統，採用凱城獨有的接液清洗方式，透過施加超音波的液膜來去除微細污垢。利用高頻領域（3MHz）的超音波，實現先進半導體所需的「超高潔淨度清洗」與不損傷電路的「無損清洗」雙重目標。
開發背景
近年來，半導體的高性能化與微縮化快速推進。伴隨此趨勢，製造過程中微小顆粒的附著，或光阻剝離、蝕刻後殘留的微細殘渣，已成為導致電路短路與良率下降的致命因素，因此對「高潔淨度清洗」的要求遠高於以往。
然而，微縮化的電路圖案極為精密，傳統強力的超音波清洗可能導致電路本身受損（如圖案倒塌等）的風險。
為解決「徹底清除微細污垢的高清洗力」與「不損傷極微細電路的無損清洗」這兩項相互矛盾的課題，凱城整合多年累積的超音波技術，完成本產品的開發並正式發售。
產品特點
此超音波清洗機為採用凱城獨家接液清洗方式，透過施加超音波的液膜來去除微細污垢的新型超音波清洗系統。
接液式振子結構
在高頻超音波清洗中，為穩定且高效地傳遞能量，需將振子與被清洗物的距離拉近。但若距離不當，超音波能量便會衰減。因此，『QUAVA mini Mega Puck』在震盪器上搭載「警告訊號功能（間隙指示功能）」，確保振子與被清洗物維持最佳距離，實現穩定的超音波傳播。
此外，為因應各種藥液，提供石英、不鏽鋼、藍寶石製的振動板選項。並搭載振子冷卻機構，實現頻率穩定與長時間連續運轉，同時延長振子使用壽命。
清洗方式比較
半導體製造過程中主要使用的三種清洗方式特性如下：
各清洗方式比較（由左至右：批次式、噴淋式、接液式）※上圖為示意圖。
清洗方式
特點
批次式
・適合大量一併處理。
・易因位置產生清洗不均，且剝落異物有再附著風險。
噴淋式
・因持續流動新液，異物再附著風險極低。
・為點狀清洗，難以全面均勻清洗，且因強力衝擊與高速旋轉產生的離心力，有損傷電路風險。
接液式
・超音波有效面積廣，能均勻傳遞超音波，無清洗不均問題。
・低轉速下對深孔的接觸頻率增加
推薦產業與適用主要工件（對象物）
本產品特別適用於對高潔淨度與無損清洗要求嚴格的以下產業與用途。
推薦產業：
・以製前工程為主的半導體元件製造商
・半導體製造設備製造商
・電子元件、光學元件、矽晶圓製造商
主要適用工件與製程：
・先進半導體晶圓（矽晶圓、SiC、GaN等）：同時實現奈米至微米等級的廣域微粒去除，以及對圖案倒塌敏感的精密晶圓之精密清洗。
・光阻剝離與蝕刻後製程：促進超音波輔助的剝離與蝕刻，並徹底清除微小的有機與無機殘渣。
・光罩、MEMS、各類光學基板：清除不容許刮傷的超精密平面工件上的異物。
產品規格
QUAVA mini 震盪器 規格
型號
20110(QA-001)
20110(QD-027)
最大輸出
1W ～ 50W
(輸出調整單位0.1W)
1W ～ 50W
(輸出調整單位0.1W)
頻率
950kHz、3MHz
950kHz、3MHz
(雙頻震盪)
震盪模式
PLL震盪、A模式
PLL震盪、A模式
電源
AC100V ～ AC240V、250VA
單相 50/60Hz
AC100V ～ AC240V、250VA
單相 50/60Hz
外型尺寸
218(W)×258(D)×138(H) mm
218(W)×258(D)×138(H) mm
重量
5kg
5kg
Mega Puck 振子 規格
950kHz
型號
28230
28231
震盪器型號
20110 (QA-001)
20110 (QA-001)
頻率、容許輸入
950kHz/50W
950kHz/50W
外殼材質
ECTFE
ECTFE
振動板材質
石英
藍寶石
可用液溫
15-40℃
15-40℃
使用液量
1.0-2.0L/min
1.0-2.0L/min
氣體吹掃流量
約 10L/min (0.02MPa 以下)
約 10L/min (0.02MPa 以下)
外型尺寸
65(W)×74(D)×38(H)mm
65(W)×74(D)×38(H)mm
重量
約 0.4Kg
約 0.4Kg
3MHz
型號
29230H
29231H
震盪器型號
20110 (QA-001)
20110 (QA-001)
頻率、容許輸入
3MHz/30W
3MHz/30W
外殼材質
ECTFE
ECTFE
振動板材質
石英
藍寶石
可用液溫
15-40℃
15-40℃
使用液量
1.0-2.0L/min
1.0-2.0L/min
氣體吹掃流量
約 10L/min (0.02MPa 以下)
約 10L/min (0.02MPa 以下)
外型尺寸
65(W)×74(D)×38(H)mm
65(W)×74(D)×38(H)mm
重量
約 0.4Kg
約 0.4Kg
950kHz / 3MHz (雙頻)
型號
208230
208231
震盪器型號
20110 (QD-027)
20110 (QD-027)
頻率、容許輸入
950kHz/50W、3MHz/30W
950kHz/50W、3MHz/30W
外殼材質
ECTFE
ECTFE
振動板材質
石英
藍寶石
可用液溫
15-40℃
15-40℃
使用液量
1.0-2.0L/min
1.0-2.0L/min
氣體吹掃流量
約 10L/min (0.02MPa 以下)
約 10L/min (0.02MPa 以下)
外型尺寸
65(W)×74(D)×38(H)mm
65(W)×74(D)×38(H)mm
重量
約 0.4Kg
約 0.4Kg
FACT BOX · 重點整理
- 來源：PR TIMES
- 分類：新品
- 產品、服務：QUAVA mini Mega Puck / 接液洗浄方式