Solid Cold Emmi-X カメラ

浜松ホトニクス株式会社は、半導体故障解析装置向け発光解析用カメラ「Solid Cold Emmi-X カメラ」を発売します。本製品はSolid Cold冷却 (リニア冷却方式)を採用しており、当社倒立型エミッション顕微鏡に搭載することで、LN₂ (液体窒素)冷却システムと比較して、より高い安定性と優れたメンテナンス性を実現します。また、広視野・高S/Nセンサに加え、高速波長切り替え機構との組み合わせにより、微弱発光を高感度に検出できます。先端ロジックデバイスや高密度メモリデバイスの解析において、高い稼働率と効率的な故障解析を実現します。

本製品は、7月7日 (火)から国内外の半導体メーカーや半導体製造装置メーカーを対象に受注を開始します。7月13日 (月)から16日 (木)にシンガポールで開催されるIPFA2026にて、本製品をご紹介します。ご来場の方はぜひブース説明員にお問い合わせください。

※Solid Coldは浜松ホトニクス株式会社の登録商標です。

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＜特長＞

高い安定性を実現する冷却機構と優れたメンテナンス性

・MTTF (平均故障時間) 90 000時間の高信頼設計

・Solid Cold冷却により非接触かつ24時間連続駆動

図版Solid Cold冷却の構造イメージ

広視野・高S/Nによる微弱発光検出

・1k × 1kセンサでの広視野観察

・特許出願技術によるノイズ低減

高速波長切り替えと高精度位置制御

・わずか5秒で波長切り替えが可能

・1軸フィルタかつギアレス構造により高い位置精度を実現

＜測定例＞

Solid Cold Emmi-X カメラを使って撮像した微弱光

【測定条件】

プロセス: 7 nmロジック

回路: リング発振器

レンズ: 20×、NA=0.6

露光時間: 60秒

電源電圧 (Vdd): 400 mV

＜搭載可能な当社製品＞

Dual PHEMOS®-X エミッション顕微鏡iPHEMOS-MPX 倒立型エミッション顕微鏡

※PHEMOSは浜松ホトニクス株式会社の登録商標です。

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＜販売情報＞

・販売開始：2026年7月7日 (火)

・価格（税抜）：1式 1.3億円

・販売目標台数：1年目 10式、3年目 12式、5年目 15式

Solid Cold Emmi-X カメラ

浜松ホトニクス株式会社

報道関係の方 浜松ホトニクス株式会社 コーポレートコミュニケーション部 〒430-8587 浜松市中央区砂山町325-6 日本生命浜松駅前ビル TEL:053-452-2141　FAX:053-456-7888　E-mail: [email protected]

主要指標 — KEY FIGURES

5秒
わずか5秒で波長切り替えが可能

一般の方 浜松ホトニクス株式会社 営業推進本部 画像計測機器営業推進部 〒431-3196 浜松市中央区常光町812 TEL: 053-435-1560　FAX: 053-435-7570 E-mail: [email protected]

FACT BOX ・ 要点整理

  • 出典：PR TIMES
  • 分類：製品発売
  • 関連組織：浜松ホトニクス株式会社 / Solid Cold Emmi-X カメラ / Dual PHEMOS®-X エミッション顕微鏡