清華大学が光フィラメンテーション機構を発見 アト秒パルスで半導体材料検査を支援

中央社ニュース （中央社記者・魯鋼駿、新竹市13日）国立清華大学電機工程学系の研究チームは、「光フィラメンテーション」機構を利用してレーザー光を導き、自然に圧縮させて高品質の孤立アト秒パルスを発生させることに成功した。超高速フラッシュのように機能し、半導体の先端製造プロセスにおける材料検査に応用できる。 清華大学電機工程学系は本日、プレスリリースで、この成果は同学系の陳明彰副教授が率いる研究チームによるものだと発表した。研究チームは、高強度レーザーが気体に入ると、細長く安定した「光フィラメント」が形成され、伝播の過程で光パルスが自然に圧縮されると同時に、空間モードも浄化されることを発見した。 同学系によると、研究チームはこの現象を利用し、もともと約4.7フェムト秒だったレーザーパルスを約3.5フェムト秒まで自然圧縮することに成功し、さらに高コントラストで高安定性の孤立アト秒パルスを生成した。 研究チームのメンバーで博士課程の簡佑恩氏は中央社の取材に対し、「アト秒」は極めて短い時間単位であり、このパルスは超高速フラッシュのようなもので、電子の運動の瞬間を捉えることができ、半導体製造プロセスにおける材料検査に応用できると説明した。 簡氏は、この高出力レーザーシステムは「光フィラメンテーション」機構と組み合わせることで、高品質の孤立アト秒パルスを直接発生でき、すぐに使えるターンキー型の特長を持つと述べた。高い安定性、高い繰り返し率、低い保守需要という利点があり、学術・産業分野でより幅広く応用できるという。（編集：林恕暉）1150513 ニュースの自由を守る力となるよう、事実に寄り添う選択を。皆さま一人ひとりのご支援が支えになります。 中央社「一手新聞」アプリをダウンロードして、最新ニュースをリアルタイムで把握できます。 本サイトの文章、写真、映像、音声は、許可なく転載、公開放送、公開送信、利用することはできません。