インテグリス、JSR／InpriaとEUVリソグラフィ技術のクロスライセンス契約を発表 半導体材料大手の米インテグリスとJSR（Inpriaの親会社）は、次世代チップ製造に向けたEUVリソグラフィ技術「メタルオキサイドレジスト（MOR）」に関する特許の非独占的クロスライセンス契約を締結し… · 2026-05-27