Entegris 與 JSR/Inpria 宣布簽署 EUV 微影技術專利交叉授權協議 半導體材料領先供應商 Entegris 與 JSR（Inpria 母公司）宣布針對次世代晶片製造用 EUV 微影技術達成非獨佔交叉授權。雙方將共享金屬氧化物光阻劑（MOR）相關專利，終止現有的專利訴訟… · 2026-05-27