MECCANISMO・LAB 開發出 120℃ 大氣壓下之 6 吋全自動晶圓鍵合裝置 MECCANISMO・LAB 成功開發基於 NIMS 技術的 6 吋全自動晶圓鍵合裝置,實現 120℃ 大氣壓下之低溫接合。 · 2026-05-12
MECCANISMO・LAB 實現 120℃ 大氣壓晶圓接合,基於 NIMS 技術開發 6 吋全自動接合設備 MECCANISMO・LAB 基於 NIMS 的低溫大氣壓接合技術,開發了可在 120℃ 大氣壓下運作的 6 吋全自動晶圓接合設備。這項發展解決了傳統挑戰,並啟動了實用驗證,使得熱敏感和異質材料的接合… · 2026-05-12