MECCANISMO・LAB 公司以物質材料研究機構(NIMS)開發的低溫大氣壓接合技術為基礎,成功開發出對應 6 吋晶圓的全自動接合裝置,並證實可在 120℃ 及大氣壓環境下成功接合。相較於傳統需高溫高真空的技術,此裝置能降低材料受熱影響並簡化設備。未來將應用於功率半導體、光學元件及 MEMS 等異質材料接合領域,為半導體後段製程提供新的製程選擇。
FACT BOX · 重點整理
- 來源:PR TIMES
- 分類:新品
- 相關組織:MECCANISMO・LAB株式会社 / 国立研究開発法人物質、材料研究機構