中国がDUV露光装置の生産を開始　設備のネックから脱却できるか？

米メディア『The Information』は月曜日（27日）の報道で、中国が自社開発の浸潤式深紫外光露光装置（DUV）の生産を開始したと伝えた。この装置は、長年にわたりオランダのサプライヤーASMLが主導してきた半導体製造のキーデバイスである。

『The Information』など複数の海外メディアによると、上海に拠点を置く中国政府支援企業が、自社開発のDUV露光装置の生産を開始した。開発チームには、新興企業である宇量昇科技の関係者も参加している。

関係者によれば、中国製DUV装置は主に国産部品を使用しているが、一部のキーコンポーネントは依然として日本製に依存している。また、現時点での性能や製造品質はASML製品に及ばないとされている。

計画では、同社は今年中に5台のDUV装置を生産し、来年には年産20台に増産する予定だ。

関係者によると、これらのDUV装置は今年中に中国の主要半導体メーカーに納入される見込みで、中芯国際（00981-HK）、華虹半導体、長鑫存儲などが対象となる。

米銀証券のアナリスト、ディディエ・シェママ氏は、現時点での中国製設備がASMLに与える脅威は限定的だと分析している。仮に中国が来年20台の国産DUV装置を生産できたとしても、ASMLの売上高に与える影響は約14億ユーロにとどまり、これはASMLの全体売上予想の2.4％に相当するという。

JPモルガンのアナリスト、サンディープ・デシュパンドゥ氏は、中国が少量のDUV装置を製造することは、実際のウエハファブでの大規模量産を支援できる能力とは異なると指摘する。中国製設備が実質的な競争相手となるかどうかは、歩留まり、オーバーレイ精度、生産効率、そして数千ロットのウエハ生産後の信頼性を検証する必要があると述べた。

米国はすでにASMLに対して、中国へのEUV露光装置の販売を禁止している。このため、中国のウエハファブは旧式のDUV装置に頼って生産を維持している状況だ。

現在、米国議会では『マッチング法案』が審議されており、DUV装置の輸出規制をさらに強化する計画がある。これにより、ASMLが中国工場向けに装置の修理や予備部品の提供を行うことが禁止される可能性があり、中国の生産ラインは設備停止のリスクに直面している。