佳世達グループ傘下の資騰半導体が展示会で三大ソリューションを発表、先進プロセスとシリコンフォトニクス応用に進出

佳世達（2352-TW）は、グループメンバーの羅昇（8374-TW）傘下にある資騰科技が、SEMICON Taiwan 2026にてFractilia CD-SEM量測、ProSys兆聲波晶圓清洗、SEMI-TS廠內物流の三大ソリューションを展示すると発表しました。これにより、半導体の先進プロセスとシリコンフォトニクス市場への進出を図ります。

資騰科技の陳國榮総経理は、「半導体の先進プロセスとシリコンフォトニクスプロセスが急速に進展する中、量測設備の信頼性、ウェーハの清浄度、工場内の物流効率が歩留まりと生産安定性の鍵となっている。資騰はこれら三つのソリューションを統合することで、顧客の単一設備の最適化から跨プロセスの管理へと支援範囲を広げ、生産リスクの低減と全体的な効率向上を実現する」と述べました。

特に、Fractilia CD-SEM量測は跨装置間の量測信頼性を強化し、FAME EDGEにより設備状態を継続的に監視することで量測異常の特定を支援します。この量測技術はシリコンフォトニクスプロセスにも応用可能で、現在、Fractilia関連ソリューションは世界30社以上の半導体・シリコンフォトニクス企業で採用されています。

BevelSonicは集束された音響エネルギーを活用し、ProSysの兆聲波ウェーハ洗浄は非接触方式でウェーハのエッジと裏面の微粒子および汚染物質を除去します。これにより、交叉汚染やエッジ損傷のリスクを低減します。単ウェーハ兆聲波洗浄システム「MegPie」は、化学機械研磨（CMP）後の洗浄テストにおいて、微粒子除去効率が98％に達しました。

SEMI-TSの工場内物流は、ハイブリッド自動物料搬送システム（Hybrid AMHS）を天井走行車システム（OHT）とクリーンコンベアシステムを組み合わせたもので、中国と韓国にすでに導入されています。既に稼働中のシステムのデータによると、待ち行列による遅延を約50％削減できます。窒素充填モジュール（N2 Purge Unit）はプラグアンドプレイ設計を採用しており、設備の変更や停止リスクを低減します。