中国がDUV露光機の生産を開始！ASML株価が一時8%急落、摩根大通「量産後の歩留まりが鍵」

ロイターは28日、関係者の話として、中国が自国開発の浸漬式深紫外光（DUV）露光機の生産を開始したと報じました。

この技術はチップ製造に不可欠であり、北京が外国技術への依存を減らす努力の上で重要な一歩です。米国がASML製露光機への規制を強化し続ける場合、中国の国産露光機は重要な代替手段となる可能性があります。

注目すべきは、中国の国産DUV露光機の開発を主導しているのが、あまり知られていない上海の企業『愛生納』（Aishengna）であることです。この謎めいた企業は公式ウェブサイトさえ開設していません。

米国は現在、中国がASMLの最先端の極紫外光（EUV）露光機を購入することを禁止しており、オランダの輸出規制も中国が一部の先進的な深紫外光（DUV）露光機を入手する道を制限しています。

北京は自給自足を積極的に推進していますが、中国は依然としてASMLにとって重要な収益源です。今年上半期の純売上高の約16%が中国から生まれています。中国の半導体メーカーは先進的なEUVシステムの取得を禁じられていますが、技術的にやや遅れたDUV装置を引き続き大量に購入しています。

中国が国産DUV露光機を量産開始したという報道は、27日に米国の情報メディア『The Information』が最初に伝えました。同メディアは、国家支援を受けているこのメーカーが小規模ながら量産を開始しており、今年中に中芯国際、華虹半導体、長鑫存儲などの半導体メーカーに初回の装置を納入すると伝えています。今年の量産台数は5台を予定しており、来年の生産台数は20台に達する見込みです。

この中国製露光機は28ナノメートルチップの生産を主眼としており、7ナノメートル級のチップ製造にも対応できるとしています。ただし、『The Information』は製造企業の具体的な名称を報じておらず、複数の中国企業の研究開発チームを統合しているとだけ伝えています。

ロイターは28日、国産露光機の製造企業が上海愛生納電子科技集団であると報じました。この進展は、北京が半導体の自給自足を推進する計画にとって大きな勝利であり、この計画は習近平中国国家主席が最も重視する目標の一つでもあります。しかし、中国の技術レベルは、オランダのサプライヤーASMLに対して即座の商業的脅威とはなっていません。

匿名の関係者によると、愛生納のDUV露光機はさらなるテストを必要としており、ASMLの競合機種と比較すると、依然として大きな差があるとのことです。

しかし、中国が露光機の量産を開始したという報道が広がると、ASMLの株価は一時8%下落しました。その後、下げ幅は1.6%にまで縮小しました。『The Information』は、中国のDUV量産計画が順調に進めば、ASMLの市場支配地位に実際に影響を与える可能性があると指摘しています。一方、ASML、中芯国際、華虹、長鑫存儲のいずれも、ロイターのコメント要請には応じていません。

モルガン・チェース（JPモルガン）のアナリストは28日、市場がこれに応じて調整しているものの、このニュースがASMLの長期的な収益見通しに影響を与える可能性は低いと述べました。「少量の浸漬式深紫外（DUV）露光機を生産することは、大規模な量産とは別問題です。鍵となるのは、大規模に製造された露光機が歩留まり、アライメント精度、生産能力、信頼性の面で安定した性能を維持できるかどうかです。」

ロイターによると、愛生納は2023年8月に設立され、登録資本金は70億元人民幣（10億ドル）で、上海電気ホールディングと上海国際信託傘下の子会社という、2つの国有株主によって支援されています。愛生納に関する情報は非常に限られており、公式サイトもなければ、事業内容についての公的な開示も行っていません。

関係者によると、同社は露光機のスタートアップ企業『宇量昇』（華為が支援する設備メーカーSiCarrierの子会社）——同社は昨年から深紫外光（DUV）のプロトタイプ機のテストを開始していた——および上海微電子設備（SMEE）のチームを統合しています。しかし、企業情報や採用記録によると、愛生納と宇量昇は上海で同じ住所を共有しています。

ロイターは以前、中国が極紫外光（EUV）露光機のプロトタイプ機の開発に成功したと報じましたが、量産にはまだ数年の時間がかかるとされています。